第35章 能看到光吗?(1/2)
这话一出,魏天华直接呆愣在原地。
13.5纳米正是euv光刻机的核心参数,可严正行说不需要反射镜组?
要知道现在的euv光刻机为了规避镜片吸收问题,光是高精度反射镜就用了11片。
每一片的製造难度都堪比艺术品,全球能生產的厂家不超过三家。
陈进一的眼睛里写满难以置信。
他也曾接触过顶尖光刻机研发,太清楚这个技术方向的顛覆性。
如果真能实现,等於绕开了euv最卡脖子的供应链环节。
“这怎么可能?就算波长达標,能量密度、稳定性、持续工作时长……这些都是拦路虎啊!”
“我们试过用雷射倍频技术逼近这个区间,结果设备开机半小时就因为过热报废了。”
望著对方难以置信的样子,严正行依旧是老样子:
“我可以保证,这种全新光源的转化效率將超过30%!
“30%?!”
陈进一猛地站起身,结果膝盖一不小心撞到桌上,疼得他齜牙咧嘴,但还是咬著牙道:
“这不可能!光源转化效率每提升1%都是天堑,您说的是理论值还是?”
要知道现在asml的euv光源转化效率还不到5%。
这意味著什么?
意味著他们要是知道这种光源技术的存在,一定会集体发疯,不计一切代价得到它!
“是工程样机就能达到的实际值。”
严正行语气平静,却像一颗炸雷在会客厅里炸开。
魏天华脸色发白,他终於明白这场合作的分量。
能让安全局和军队同时介入安保,恐怕真要搞出顛覆行业的东西。
“那……安保方面?”
魏天华声音发紧。
陈劲刚回应道:
“从协议签署生效开始,安全局会派驻三十名特勤人员接管厂区安防。
外围由军区调派一个连的兵力布防,无人机二十四小时巡逻。
任何未经授权的人员靠近都会触发一级警报。”
“魏总,你们团队里需要留下配合的人员,我们会马上安排背景审查。”
“没问题的话今晚就能办理入住。”
“接下来两个月,恐怕得委屈大家在这里闭环办公了。”
魏天华只觉得后背发凉。
他看著眼前这几位神色凝重的来客,突然意识到自己捲入的或许是足以改变龙国半导体命运的大事。
他拿起笔,手却有些发颤:
“这么大的动静,是要把样机直接量產吗?”
“当然不是。”
张云终於开口,指尖在桌面上轻轻敲击:
“我们先造一台验证机。”
“用你们的精密加工车间,超净间和镀膜设备,两个月內做出能稳定运行的样机。”
“至於具体原理,涉及的技术链条太长,说了你们也未必能立刻理解。”
“不如等成果出来,让机器自己说话。”
想要完全製造一台划时代的光刻机,即便是有全套技术,也至少需要5年时间!
但他们並不需要造出一台光刻机,只要能造出能够展示这种光源系统可行性的样本机就行。
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