第110章 近接式光刻机，微米级微调机构！（2/2）

“有了觉得20w次每秒能搞出来的想法？”

很快。

黄琨和林嵐因就说完了她们负责部分的问题。

並且提出了一些思路。

江阳没有急著评价，而是看向王寿吾。

后者摆了摆手，道：

“黄教授和林教授说得很全面，我没什么补充的。”

闻言，江阳頜首道：

“好，那我来说。”

“其实刚刚林教授的想法很不错。”

“我们现在的接触式光刻，缺少精密系统的辅助—.”

他一边说。

一边在身后的小黑板上写下几个关键点。

一掩膜与基片直接接触、光源简陋、手工操作。

总体上。

是根据林嵐因的思路，先去分析简易光刻机的缺陷。

待江阳说完后。

林嵐因立刻道：

“所以我们现在是要完成標准的接触式光刻吗？”

她在m帝时。

听说过接触式光刻的理论。

但目前来说，还没有一个很好的应用。

江阳道：

“不完全是。”

“接触式光刻其实存在个明显的缺陷。”

“近距离的物理接触，会导致掩膜的损失，大大降低寿命。”

他说完后。

林嵐因、黄琨和王寿吾，陷入沉思。

不採用接触式的话。

就完全没有可以依照的理论，只能摸著石头过河。

就在这时。

江阳继续道：

“所以我们需要保留掩膜与晶圆间微小的间隙。“

“没有物理接触。”

“自然能有效地提掩膜的使用寿命。”

林嵐因道：

“可是这样的话，恐怕需要更高的曝光时间。，“而且间隙控制。”

“没有够精度的调整机构，恐怕难以做到。”

江阳没有立刻回应。

而是默默地將手伸向隨身的挎包。

然后在三人果然如此的眼神中，拿出调整机构的研究方案。

林嵐因正想接过。

一旁的王寿吾忽然道：

“咦，江教授，您这次的案內容，以前多了很多啊！”

他说完后。

林嵐因何黄琨看著研究方案，也觉得不对。

就算是研製计算器时。

江阳都只给了大体的框架和简单的方向。

一个调整机构。

再难应该也不至於，需要这么多的稿纸去阐述研究方案。

江阳道：

“其实这里有两套方案。”

王寿吾惊讶道：

“两套？”

一旁的林嵐因和黄琨整了整，也露出疑惑的表情。

当然，他们並不是因为数量多。

而是觉得。

以江阳的能力，不应该会出现同时两套方案的情况。

想到这里。

王寿吾道：

“要不召集专家团，再討论几天，或许能给您一些参考。”

江阳道：

“不用这么麻烦，两套案都是可的。”

“只是效果不同。”

“第二套更好，是给我们的。至於第一套——拿来出！”

他其实有4套微调机构的方案。

但就现在的条件。

最多只能做到第二套，气浮轴承+气压控制。

王寿吾道：

“出口，这能行吗？”

他有些茫然。

毕竞以前华国都是从国外进口技术和设备。

至於出口。

只有农產品和矿產资源有点价值。

技术上。

根本没有国外能够看得上的东西。

这也是华国外匯储备长期缺乏的原因之一。

江阳笑道：

“当然能行。”

“不仅是微调机构。”

“以后光刻机，也要出口，我们得做好准备才行。”