第55章 样机完成(1/2)
张云笑了笑,在魏天华的引领下,与白鸦一同快步走向大楼深处。
通往中心实验室的通道同样戒备森严,但內部环境已经与张云上次来时截然不同。
数百亿资金的持续投入,在这里得到了最直观的体现。
走廊两侧是巨大的透明观察窗,可以看到內部高度洁净的车间。
空气循环系统发出低沉的嗡鸣,维持著恆温恆湿的无尘环境。
透过观察窗,能看到大量闪烁著指示灯的先进设备,这些之前还没有。
其中不乏从全球顶尖供应商处以巨大代价紧急採购,通过特殊渠道获得的尖端半导体製造装备。
据魏天华之前匯报,这些工业母机有超过五成都集中部署在了这个核心项目区。
这里,儼然已经成为了全球最顶尖的半导体研发与製造中心之一。
巨大的超净间机房內,数十架设备正在运行。
得亏有魏天华带路,否则走进这复杂的空间確实容易迷路。
七拐八拐后,他们抵达了中心区域的观测控制台。
张云看到了严正行。
仅仅两个月,这位科学家看起来邋遢了不少。
头髮凌乱,眼窝深陷,双眼布满血丝,脸上是浓重的疲惫。
他身边的陈进一状態更差,眼睛浮肿,顶著明显的黑眼圈。
但两人共同的特点是异常亢奋,不知道的还以为两人吸了什么不该吸的东西。
“张云先生!您可算来了!”
严正行一发现张云的身影,立刻激动地想要下来迎接,脚步却是一个踉蹌,差点直接从金属楼梯上栽倒下去!
“小心!”
旁边的陈进一反应极快,一把死死拽住了严正行的胳膊,將他稳住。
两人都惊出一身冷汗。
“行了,不要那么激动,我这不是来了吗?”
张云快步上前,生怕对方一个激动直接心脑血管猝死了。
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“好……好,没事。”
严正行站稳,喘了口气,立刻对陈进一说:
“老陈,准备启动吧。”
“我早就安排好了,张顾问你快看啊,这就是我们设计的光刻机样式机。
看到那个机器了没有,那就是我们设计的超级光源系统。”
张云顺著看去。
一台长约二十多米的长方形光刻机样机停放在那里。
它的外框有些简陋,部分管线尚未封装,显然是临时搭建用於测试的。
不过用来展示一个光源系统应该绰绰有余了。
被邀请来参观的上百位科学家与工程师全都站在站台外,目光紧紧的盯著同一处,等待著见证歷史的那一刻。
“开始吧,严工。”
张云的声音在寂静的控制室里显得格外清晰。
严正行深吸一口气,仿佛要將这两个月积攒的所有压力和期待都压入胸腔。
他死死盯著控制台,手指在键盘上敲下了一连串指令。
“启动预热程序。”
嗡……
控制台下方的巨大样机內部传来低沉的运转声,一头沉睡的钢铁巨兽被唤醒了!
散热系统启动,轻微的冷风从通风口溢出。
观测窗外的超净间里,人们看到那台二十多米长的样机开始活了过来。
各种指示灯光次第亮起,如同星辰点亮。
“能量注入准备就绪。”
陈进一表情显得有些紧张。
“启动光源激发。”
严正行的手指悬停在回车键上方,停顿了半秒,然后重重敲下!
嗡——!
一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心臟上的嗡鸣声骤然响起!
观测窗甚至能感受到微微的震动。
紧接著,所有人的目光都被样机的心臟部位吸引过去。
那里,一个被多层防护和复杂管道包围的中心区域,一道光骤然亮起!
那不是常见的炽白或淡蓝光,它呈现出一种深邃而纯粹的极紫外色彩。
介於幽紫与深蓝之间,带著一种非自然的冰冷质感。
它的亮度並不刺眼,却异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。
“波长稳定……13.4纳米!误差低於0.01!”
在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊,声音因为激动而劈叉。
“能量输出稳定!转化效率31.7%!天啊!”
旁边一个年轻的技术员看著仪錶盘,失声惊呼。
31.7%!
这个数字如同惊雷在控制室里炸开!
所有人都知道这意味著什么。
意味著这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全世界所有光源系统碾压式的超越!
它彻底粉碎了现有的物理和工程极限!
那束深邃的极紫外光持续稳定地输出著,如同永不疲倦的心臟,为整个光刻系统提供著澎湃而纯净的画笔!
“开始曝光测试!”
严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中,他的目標更远。
指令下达。
样机內部,精密的光学组件开始工作。
那束凝聚的极紫外光被引导、分束、投射。
承载著电路图案的掩模板被精准定位。
下方,一片预先处理好的硅晶圆静静地等待著命运的刻画。
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