第55章 样机完成(1/2)

张云笑了笑,在魏天华的引领下,与白鸦一同快步走向大楼深处。

通往中心实验室的通道同样戒备森严,但內部环境已经与张云上次来时截然不同。

数百亿资金的持续投入,在这里得到了最直观的体现。

走廊两侧是巨大的透明观察窗,可以看到內部高度洁净的车间。

空气循环系统发出低沉的嗡鸣,维持著恆温恆湿的无尘环境。

透过观察窗,能看到大量闪烁著指示灯的先进设备,这些之前还没有。

其中不乏从全球顶尖供应商处以巨大代价紧急採购,通过特殊渠道获得的尖端半导体製造装备。

据魏天华之前匯报,这些工业母机有超过五成都集中部署在了这个核心项目区。

这里,儼然已经成为了全球最顶尖的半导体研发与製造中心之一。

巨大的超净间机房內,数十架设备正在运行。

得亏有魏天华带路,否则走进这复杂的空间確实容易迷路。

七拐八拐后,他们抵达了中心区域的观测控制台。

张云看到了严正行。

仅仅两个月,这位科学家看起来邋遢了不少。

头髮凌乱,眼窝深陷,双眼布满血丝,脸上是浓重的疲惫。

他身边的陈进一状態更差,眼睛浮肿,顶著明显的黑眼圈。

但两人共同的特点是异常亢奋,不知道的还以为两人吸了什么不该吸的东西。

“张云先生!您可算来了!”

严正行一发现张云的身影,立刻激动地想要下来迎接,脚步却是一个踉蹌,差点直接从金属楼梯上栽倒下去!

“小心!”

旁边的陈进一反应极快,一把死死拽住了严正行的胳膊,將他稳住。

两人都惊出一身冷汗。

“行了,不要那么激动,我这不是来了吗?”

张云快步上前,生怕对方一个激动直接心脑血管猝死了。

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“好……好,没事。”

严正行站稳,喘了口气,立刻对陈进一说:

“老陈,准备启动吧。”

“我早就安排好了,张顾问你快看啊,这就是我们设计的光刻机样式机。

看到那个机器了没有,那就是我们设计的超级光源系统。”

张云顺著看去。

一台长约二十多米的长方形光刻机样机停放在那里。

它的外框有些简陋,部分管线尚未封装,显然是临时搭建用於测试的。

不过用来展示一个光源系统应该绰绰有余了。

被邀请来参观的上百位科学家与工程师全都站在站台外,目光紧紧的盯著同一处,等待著见证歷史的那一刻。

“开始吧,严工。”

张云的声音在寂静的控制室里显得格外清晰。

严正行深吸一口气,仿佛要將这两个月积攒的所有压力和期待都压入胸腔。

他死死盯著控制台,手指在键盘上敲下了一连串指令。

“启动预热程序。”

嗡……

控制台下方的巨大样机內部传来低沉的运转声,一头沉睡的钢铁巨兽被唤醒了!

散热系统启动,轻微的冷风从通风口溢出。

观测窗外的超净间里,人们看到那台二十多米长的样机开始活了过来。

各种指示灯光次第亮起,如同星辰点亮。

“能量注入准备就绪。”

陈进一表情显得有些紧张。

“启动光源激发。”

严正行的手指悬停在回车键上方,停顿了半秒,然后重重敲下!

嗡——!

一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心臟上的嗡鸣声骤然响起!

观测窗甚至能感受到微微的震动。

紧接著,所有人的目光都被样机的心臟部位吸引过去。

那里,一个被多层防护和复杂管道包围的中心区域,一道光骤然亮起!

那不是常见的炽白或淡蓝光,它呈现出一种深邃而纯粹的极紫外色彩。

介於幽紫与深蓝之间,带著一种非自然的冰冷质感。

它的亮度並不刺眼,却异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。

“波长稳定……13.4纳米!误差低於0.01!”

在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊,声音因为激动而劈叉。

“能量输出稳定!转化效率31.7%!天啊!”

旁边一个年轻的技术员看著仪錶盘,失声惊呼。

31.7%!

这个数字如同惊雷在控制室里炸开!

所有人都知道这意味著什么。

意味著这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全世界所有光源系统碾压式的超越!

它彻底粉碎了现有的物理和工程极限!

那束深邃的极紫外光持续稳定地输出著,如同永不疲倦的心臟,为整个光刻系统提供著澎湃而纯净的画笔!

“开始曝光测试!”

严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中,他的目標更远。

指令下达。

样机內部,精密的光学组件开始工作。

那束凝聚的极紫外光被引导、分束、投射。

承载著电路图案的掩模板被精准定位。

下方,一片预先处理好的硅晶圆静静地等待著命运的刻画。

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